減反射膜的作用是增加更多的光吸收，可以增大光電流。同時，減反射膜對硅片還有保護和鈍化作用，可以增加電生電壓，對提高光伏電池的電性能有很大幫助。現在的光伏電池均有減反射膜 ，不論是一線廠家或者二線廠家，普遍采用的是PECVD法沉積氮化硅膜。膜厚在78nm左右，折射率在2.06左右。